第140章 晶圓切割裂紋異常
陽光正好，微風不燥。
姜華邁著六親不認的腳步，徑直走到了吸菸區，朝著潔白的牆壁一靠，用牙齒咬了一根香菸，將雙手插在了褲兜里，腦袋不時擺動一下，眼睛東瞅瞅西望望，一副痞帥的樣子。
這個工廠隊伍最龐大的是生產部，作為前道主管，他可是生產部的老二。
老二就要有老二的樣子，最近他無形之中養成了走路的時候六親不認的習慣，抽菸的時候也懶得用手，就用牙齒咬著一直抽，香菸燒到嘴巴邊了，他就往後拉一下嘴唇，露出一排已經被熏黃了的牙齒。
「老同學，有啥事呢？」姜華歪著腦袋問道。
「昨天安排工程技術人員用假片做工藝驗證，也不知道情況怎樣了？」辛佟用手指彈了彈菸灰說道。
「等會咱們一起去車間看看！」
「我隱約感覺這個項目並不簡單，摩托羅拉的項目，我們千萬不能掉以輕心。」辛佟抬起頭仰望著蔚藍的天空說道。
「下一周客戶來晶圓了，是驢子是馬，拉出來溜溜就知道了。」
抽完煙，二人徑直來到了晶圓減薄車間。
現場只有一名工藝技術員在場，姜華一把就將他抓住了：「昨天安排你們工藝做驗證，你們有做過150μm減薄驗證嗎？」
「姜老大，我們昨天做過一片，減薄沒有發現問題，不過聽說切割的時候出現了裂紋，羅高工找到謝老大，他們正在討論問題的對策。」
「是嗎？」辛佟心中一緊。
以前車間減薄只做到過220μm，不過那是做給消費類電子產品的，MPC5200是車規產品，對可靠性要求高，越薄就越容易散熱，沒有想到150μm減薄出問題了。
還好，這只是假片驗證，要是直接拿客戶的實驗片驗證，估計很快就會把實驗片用完了，重新申請實驗片走流程跑物流起碼要耽擱一個月時間。
「走，謝工肯定在工程部，上工程部找他去！」姜華說道。
辛佟點了點頭。
工程部會議室里，羅高工果然正在討論技術問題。
「辛經理，你來得正是時候，我們正在討論摩托羅拉項目切割裂紋的事情。」羅高工衝著辛佟招了招手。
辛佟點了點頭，找了一個位置坐了下來。
「我們已經改成兩刀切割了，切割對晶片的應力已經降低到最低水平了，沒有想到圓片還是出現了裂紋。」WS天王謝劍風情緒有點失落。
「謝工，兩刀切割的工藝成熟嗎？」羅高工問道。
「我們用這個工藝切割220μm的晶圓，沒有一點問題，對比實驗表明還是跟晶圓的厚度有關，跟切割工藝無關。」謝劍風說道。
辛佟抬頭看了他一眼，心想這謝工功課做得還是挺紮實的，不愧是天王級別的技術高手。
「這麼說來，應力還是來自於減薄工序，那麼我想問你，你有測量過減薄後晶圓的翹曲度嗎？」羅高工問道。
辛佟投過去崇敬的目光，羅高工的邏輯推理能力真是太強大了，因為晶圓產生應力後肯定會有蛛絲馬跡可查的，輕微變形肯定跑不掉。
「老大，我們測量過的，圓片翹曲度差不多到了400μm！」謝工回答道。
辛佟暗自感嘆，真沒有想到謝工也考慮到減薄的應力了啊，天王就是天王，不過400μm是不是有點大了？
「220μm晶圓減薄後的翹曲度你量過嗎？」辛佟抬起頭問道。
「不瞞你說，220μm的晶圓我們也量測過，翹曲度在200μm左右！」謝工回答道。
這麼說問題的根源就是晶圓的翹曲度了！
如何降低晶圓減薄之後的翹曲度呢？
辛佟靈光一閃，突然想起了斯米克晶圓廠的張凱峻，這個畢業於青華大學的晶圓工程師肯定知道。
他掏出了波導手機，手指點擊了幾下，給張凱峻發了一個短消息。
「這麼分析下來，晶圓切割裂紋的問題已經鎖定到了減薄工序！」羅高工說道。
「是的！」謝工點了點頭。
「減薄工序怎麼會帶來這麼大的應力啊？」羅高工反問道。
「這個回去還要從4M1E的角度排查一下！」謝工回答道。
「謝工，你們減薄使用的磨輪金剛砂顆粒直徑是多少？」辛佟抬起頭來問道。
金剛石顆粒直徑？這問題好專業啊！辛佟沒有幹過減薄，他是怎麼知道的？羅高工無比驚訝，難道辛佟是一個工藝天才？
姜華也非常震驚，老同學跟天王級別的高手討論起工藝問題，竟然一點兒也不落下風啊。
「目前我們減薄分兩次研磨，粗磨使用325#的磨輪，精磨使用900#的磨輪，換算下來，粗磨的金剛砂顆粒直徑為44μm，精磨的金剛砂顆粒直徑為15μm。」謝工對自己管控工序的工藝了如指掌。
辛佟「喔」了一下，手指在手機上一陣翻飛，將信息發給了張凱峻。
「辛經理問得對，我也覺得減薄的問題可能跟磨輪的選擇有關！」經過辛佟的點撥，羅高工好像得到了某種啟示一般。
「我也這樣懷疑！」謝劍風說道。
「粗磨選用325#的磨輪，沒有錯，不過粗磨過後形成的損傷層大約為20μm左右，粗糙度約為1.5μm，精磨使用900#的磨輪，其損傷層大約為5μm左右，粗糙度約為0.5μm，這樣的高低不平紋路，會造成應力集中，使後續工藝劃片產生裂紋，我建議精磨採用2500#磨輪試試，假片做完之後測量一下翹曲度，如果翹曲度小於200μm，你們安排切割驗證。」辛佟非常自信地說道。
這個辛佟真是太逆天了，對減薄工序的了解絕對在謝劍風之上啊，羅高工聽了直點頭，說道：「很好！」
「好的，辛經理，我們按照你的要求再做一些假片驗證！」謝劍風點了點頭。
他之前跟辛佟沒有交集，不過聽說過這個人，總覺得辛佟升職太快了，真沒有想到他竟然如此專業，今日一見，佩服得五體投地。
看著工程部老大和WS天王對辛佟的分析連連點頭，姜華也驚呆了，這麼說老同學的本領已經超過這些頂級高手了？
關鍵是他都沒有在晶圓減薄工序呆過一天啊！
昨天去減薄看了一眼，他就無師自通了？
從會議室里出來，姜華拉住了辛佟，忍不住問道：「老同學，你不是干鍵合出身的嗎？怎麼對減薄也這麼精通？」
辛佟笑了笑，要不是剛才諮詢張凱峻，他也一頭霧水。
不過，他不想將這件事告訴姜華，就隨便忽悠道：「鍵合工序是王者工序，你幹了鍵合再看其他工序，都很Low了。」
不是說隔行如隔山嗎？
老實說他姜華統管FOL所有生產工序，也看過減薄、切割、裝片和鍵合，發現不同的工序之間差異其實還挺大的。
「是嗎？」姜華心中是將信將疑。
感謝烏蒙兄的支持，感謝六月美女的支持！今天是一個颱風天，真涼爽！
(本章完)