第98章 深矽刻蝕工藝
「哦？都有哪些傳感器？」
孫廠長坐直了身體。
「到目前為止，思路已經成熟的，除了上次展示過的加速度傳感器，簡單一些的壓力傳感器，水平傳感器，還有飛機上會用到的高度傳感器，空速傳感器」
陳泉在黑板上，連續寫下了一長串的名字。
既然明白了「他」做的東西，都是傳感器，再去尋找那二十多個實驗的目的，就容易了很多。雖然有些非常複雜的結構，陳泉還是摸不清頭緒，但其中不少結構，每個實際可以有多種用途。
更不提，「他」提供了好幾種通用結構。
所以，有些傳感器，是原來「他」實驗裡包括的，但也有不少，是陳泉跟趙薇薇討論後，自行擴展出來的。原理搞清楚了，可以很容易的舉一反三。
「還有一個結構比較複雜的陀螺儀。這個可以作為我們第一期作品的收官之作。」
「陀螺儀？陀螺儀也能用MEMS技術加工出來嗎？」
劉院長身邊的中年人，站了起來。
陀螺儀在很多場合，都是核心傳感器。
「您是？」
孫廠長回頭詢問。
「我是跟老劉一起來的，你們叫我王工就好了。」中年人沒有透露姓名，其他人互相看了一眼，也就不問了。
「你還沒有回答我的問題呢？小伙子！」
「哦。當然能了。由於陀螺儀的造型過於複雜，我還特意帶來了它的模型。」
陳泉一擺手，曲燕秋就托著一套，由紙殼做的簡陋樣品，走上講台。
——
微電子實驗室。
「你的手抖什麼抖啊？這塊晶圓片算是廢了！」
張棟被氣得渾身發抖。「你知道，這塊晶圓片值多少錢嗎？加上剛才消耗的各種藥水，製劑，一百元！讓你一抖，就這麼沒了！」
「沒有全廢吧。那一半不是還能用嗎？」
自知犯了大錯的成興，試圖分辨。
1989年的冰城，學生生活費，50元一個月能吃飽，100元，絕對能吃好。
「哦，天啊！我真是受夠了。」
張棟的耐心徹底沒了。「這是誰出的餿主意！讓這些連課都沒上過的新生，做半導體實驗？」
「老張，有點耐心。」
在旁邊工作檯做實驗的科研人員，邊操作，邊勸解。「你不能期望所有人都跟陳泉一樣，一看就會，一聽就懂的。」
「老師，讓我們兩個人一組吧。這次我們小心點。」
雲麗上前一步。
有了台階下，張棟的態度好了一點。「行，你跟成興一組，於耀贏跟李季一組。剩下的馮言，自己一組。」
被訓得滿臉通紅的成興，感激的看了一眼，身邊不起眼的同班女生。
在MEMS小組內，人雖然不多，但隱隱分成了幾派。
於耀贏，李季，都是陳泉和曲燕秋的嫡系，而馮言，乾脆是陳泉二人的乾姐姐，前些天發表的中文綜述，還撈到了署名，心態都比較好。
而雲麗和成興，被拉入小組，完全不知道背後的原因，比較忐忑，做事情也有些畏首畏尾。
由於相似的處境，兩個人最近有點抱團取暖的意思。
——
會議室。
看到樣品，感興趣的客人，紛紛離開座位，圍了過去。
「這不對吧。」
王工上上下下，里里外外的把樣品看個通透。
「什麼不對？」
冰飛的周總工，就在他的身邊。
「這種結構，以現在的MEMS工藝，根本加工不出來吧。」
王工把模型舉了起來，抬高到跟視線平齊。「我記得，MEMS所採用的犧牲層工藝，根本加工不出如此的高深寬比、高垂直度。」
犧牲層技術（工藝），1985年才被引入到半導體加工領域，「表面」微機械加工概念由此產生。之所以，1988年，震驚世界的微靜電馬達能夠問世，就是拜犧牲層技術所賜。
王工的專業性評價，大多數人沒有聽懂，但並不妨礙大家把目光投向陳泉，等待解釋。
「是的。這個陀螺儀，我不準備只採用犧牲層工藝。」
陳泉沒有絲毫慌亂。
記憶里，陀螺儀採用的加工工藝，的確發生了變化。
之所以，陳泉要拋出新論文，也跟加速度傳感器論文，被《Applied Physics Letters，應用物理快報》採用有些關係。
應用物理快報，在半導體工藝系列裡，算是與MEMS有關聯的期刊里，最好的一波期刊了。其SCI影響因子超過了4。
（真正的MEMS專業期刊，還沒有面世。）
按理，論文被確定採納，是件大好事，但陳泉和曲燕秋有點坐不住了。因為不論是他還是她，都沒有任何感覺。
前兩次的過關，陳泉和曲燕秋，都能明顯看到，或者感到一些不同。
例如第一次過關，曲燕秋被實質激活，第二次，乾脆甦醒。可現在，沒有消息，就是最壞的消息。
所以兩個人，不得不繼續拔高心理目標，把論文的層次，再推高一個檔次。
這次的目標，盯叮住了CNS（CELL， SCIENCE， NATURE），這三本頂級超一流期刊，一次就給他搞到位。
這種超一流期刊論文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在國內，就可以開宗立派，直接成立專屬實驗室，乃至新的專業。
這個陀螺儀，以及它後面的工藝論文，就是陳泉和曲燕秋兩個人，精心選出來的目標。
「不是犧牲層工藝？還有別的工藝嗎？我怎麼沒有聽說？」
王工眯起眼睛，重新打量起眼前的，年輕得不像話的青年。
「嗯，姑且算是我的發明吧。這次想申請的專利，就有它一個。」
國際專利申請的初期，花錢不算太多，交800到一千美元的報名費，就可以有12到18個月的獨占期。沒有這個時間差，MEMS項目組，支付不起加速度傳感器的專利申請。
「這個工藝叫什麼名字？」
「嗯，叫」
陳泉撓了撓頭。
所有的記憶，都是圖像記憶，名字什麼的，從來都是沒有。
「我還沒有給它起名呢。要不就叫深矽刻蝕工藝吧。」
陳泉按照直覺印象，隨口起了個名字。名字說出口後，感覺還不錯。
「深矽刻蝕工藝？那是什麼東西？」
王工滿臉迷惑。「能不能給我解釋一下，這個工藝是如何實現的？」
「能倒是能，不過這可就是真正的核心技術了」
陳泉十分為難，看向四周，滿臉的不放心。
「王工，你就別難為.」
林書強跑過來幫腔。
「哈，小伙子，你小瞧了我。」
王工突然虎軀一震，挺直了身體。「只要你能說服我，可以實現眼前的這套陀螺儀，200萬的贊助資金，我們航院出了！」
「你們航院出了？」
陳泉傻眼了。
不僅陳泉傻眼了，其他人也都傻眼了。
黃楚雄傻眼了，趙良材傻眼了，連林書強都傻眼了。
作為校長，他竟然不知道，下面的航院，居然如此有錢了？
航院的劉院長，其實也傻眼了。
航院哪裡有什麼錢啊！
但他什麼都不說，接著看熱鬧。
「我們單獨聊聊？」
趙良材最先反映過來。這位王工，作為航院院長的客人，身份已經呼之欲出了。
「好。」
王姓中年人直接出手，把講台上的模型，摟了下來，揣在懷裡。「我們走？」
「等等，等等！等一下！」
在一邊看熱鬧，看得正高興的孫廠長，站了起來。「我怎麼覺得不對勁呢？今天的會議主題，不是讓我們冰飛對項目進行審查嗎？怎麼現在就要散會？」
(本章完)