第131章 『點光』測試
帶著感光晶片回到平江後,康馳又重新投入到了繁忙的工作中,同時出於優先級考慮,相機的事情也只能往後排。
時間一天天過去,距離何永說的一個月改良期限也越來越近了。
終於,在11月13號的這天,何永的電話打過來了。
「設備已經改造完畢,正在做實驗前的最後檢查工作,預計15號就可以開始進行測試了。」
「嗯,我明天過來,這段時間辛苦你們了。」
兩人隨後簡單地聊了幾句便結束了通話。
隨後康馳重新梳理了大唐重工的研發工作,確定在沒有他的情況下,項目也能正常推進,然後便開始動身前往常春。
兩天後,常春光所的潔淨實驗室內,DPP-EUV光源項目組的研究人員,都已經全副武裝地堅守在各自的崗位上,進行著測試前最後的一遍檢查工作。
康馳此時也站在控制室,隔著玻璃看著裡面那台體積和普通臥室差不多大的光源設備,內心同樣充滿期待。
只要把光源搞定了,那他光刻機的研製進度,最少能暴漲三分之一。
加上平江已經組裝完畢的鏡片製造設備,以及正在攻關的工件台。
EUV光刻機三大件合體調試時間,已經是指日可待了。
何永對設備的主要參數,以及實驗條件進行最終核對後,走到了康馳的身邊,儘量壓沉音量道:「各項參數都已經核查無誤,可以開始了。」
「那就開始吧。」
「嗯!」
這次的實驗主要分兩個階段進行,
第一階段只對設備進行通電,然後噴錫氣,測試磁場是否能夠和預想中的那樣,把錫氣給一絲不落地吸到廢料收集器中。
隨著何永開始實驗命令下發後,實驗室內外的工作人員立即開始行動了起來。
設備通電,磁場加壓……
隨著屏幕上的數據瘋狂跳躍,數字最後定格在了三千高斯。
這個磁場強度,和可控核聚變幾十萬高斯的磁場強度顯然沒得比,但兩者的體積和目的不同,其實沒啥可比性,
對於EUV光源來說,只能要約束住等離子體和錫液碎屑就行了,再高的強度也只是浪費電而已。
「第一次噴射準備,噴射!」
隨著工作人員按下按鈕……似乎啥也沒發生。
嗯,這不是火箭發射,人根本就不可能通過肉眼,看到錫氣的噴射……
在用雷射擊打錫液的LPP方案中,為了產生穩定而高功率的光源,需要每秒發射5萬次的雷射,並且次次命中錫液。
而在DPP方案中,則是通過正負極的通電『點火』頻率來實現,技術難度簡單很多,同時因為光電開關的頻率提升難度小,功率的提升空間就非常大了。
真正的限制,是錫氣的噴射頻率。
受限於物理結構,目前能做到噴射頻率只有每秒2萬次。
既然不能提高噴射頻率,康馳就直接大力出奇蹟,提高每次的噴射量,每噴一次就電它個五次甚至十次,最大程度地把錫轉換成等離子體。
反正有磁場約束,不怕氣體、碎屑和等離子體在電擊中亂飛。
即便如此,每秒2萬次的頻率也很誇張了。
只能通過高速攝像機和各種分析儀器,回放實驗數據,才可能觀測到實驗的結果。
過了十分鐘,測試的分析結果就出來了。
「未發現錫元素外泄,全部錫氣在0.8秒後冷凝成液態,順利進入廢料收集器!」
聽到分析員語氣激動地念出結果,所有人的臉上都露出了喜悅的神色。
這說明支撐這套設計方案中,最重要的磁場設計是可行的!
所有人都已經能感受到,那勝利曙光照射在臉上的那絲暖意了!
何永深吸了口氣,壓抑住內心的激動,沉聲道:「繼續下一個環節,10秒連續噴射。」
然後,
10秒,30秒,1分鐘,10分鐘,30分鐘!
測試的強度的不斷提升,但都無一例外,全部順利完成!
何永終於抑制不住臉上的喜悅,神色激動地對康馳匯報導:「康博士……第一階段實驗全部順利通過!」
康馳點了點頭:「那就直接開始第二階段吧。」
「好的!」
雖然經過了一上午的實驗,大家都有點飢腸轆轆了,但在這個節骨點,卻沒有任何人會有吃個飯再回來繼續測試的想法。
所有人都憋著氣,期待著這台凝聚了他們無數日夜的心血,在另一條更具潛力的技術路線上『點光』成功!
「第一次電離準備,開始!」
話音剛落,從光線收集器傳來的數據,就傳輸到了大屏幕上。
極紫外光參數從0W,直接跳到了500W!
雖然這道500W的極紫外光,持續的時間僅僅只有0.00002秒,但所有人都知道,他們的一隻手已經摸到了成功的大門了!
「500W,我們成功了!」
所有人都再也抑制不住內心的激動,站起來對著康馳鼓掌慶祝了。
康馳的臉上,也不禁浮現出了一絲笑容:「是的,我們成功了。」
不過,這是階段性的驗證,只能代表這條技術線路是真實可行的。
接下來,他們還要像第一階段的實驗一樣,不斷提高實驗強度,確定它是否已經可以穩定運行,直接進入商用階段。
十分鐘後,具體的分析數據也出來了,在剛剛電離錫金屬的時候,磁場依然完成了它的使命。
它像一個無形的牢籠,牢牢地約束住了整個發光區域,沒有讓任何物質觸碰到不該觸碰的設備。
接著康馳直接讓何永上強度,從10秒到1分鐘,第三輪直接就是30分鐘!
連續半個小時的穩定光源!
到了這一步,基本已經可以證明,這台DPP-EUV光源,已經具備商用價值了!
當今天最後一項測試結束後,整個實驗室頓時就沸騰了。
「成功了,真的成功了!」
「我們有500W的EUV光源了!」
「我的天,康博士的一次改良,竟然直接從80W干到了500W!」
掌聲和歡呼聲在控制室內反覆迴蕩,
大家隔著厚厚的防護服互相擁抱,激動的淚水灑在了透明的防護面具上,更加增添了實驗室的歡樂氛圍。
看到眼前的這一幕,何永的身體也不禁有些顫抖。
這樣的場景,他做夢都不知道做了多少次。
直到今天,終於夢想成真了。
只可惜,這成功並不是他給大家帶來的……
何永表情有些複雜地,轉頭看向身邊這個年輕人。
這年齡的人,在他們研究所,估計只有在助手中才能找到吧?
「恭喜你,你贏了。」
「謝謝。」
康馳當然也能感受到,何永在激動之餘的那抹失落,於是出言安慰道:「如果不是有伱們之前打下的堅實基礎,並且能這麼快完成設備改良,這一天肯定也不會這麼快到來。」
「其實我也不想成為最後摘桃子的,那多惹人厭啊……只要你們能按照之前的約定,以成本價給我供貨,然後分我30%技術專利的利潤,其它的看著辦就行了。」
何永搖了搖頭:「你放心,我會如實填寫實驗報告,這麼大的功勞就算扣在我頭上,我也頂不起,能分點苦勞也夠我入土前得意了。」
呃……
他這話雖然有點怪,但貌似也是這個理。
功率突然從80W突破到了500W,成果實在太大了,
哪怕何永只能分一點功勞,也比他之前幾瓦、幾十瓦地慢慢突破牛逼多了。
(本章完)