第122章 三大件的解決方案
EUV光刻機的核心技術，主要由三大系統構成。
首先是EUV光源系統，這個系統負責製造光刻過程中，需要用到的特殊光線。
從第一代的UV光刻機，到第五代的EUV光刻機，光線的波長也從436nm，縮短到了13.5nm，目前所有的光刻機，就是通過光線的不同，來區分技術等級的。
這其中主要涉及到的原理，就是光學中光線波長和清晰度的關係。
最簡單的道理，就是進入黃色的鎢絲燈房間，大部分人都會感覺視線昏暗，
哪怕多加幾個燈泡，也始終感覺沒有白色的LED燈那麼明亮和清晰。
這就是因為黃色光的波長，要遠高於白色光，
光線的波長，就像是海浪一樣，越大的波浪，拍打在海防堤上的水位高低起伏就越大。
而這個水位的高低落差，換成在光學領域，就成了影響陰影邊緣清晰度的重要因素。
因此，想要達到越小製程的晶片工藝，就需要波長越短，越無限接近絕對直線的光。
而在EUV光源技術上，據康馳目前所能查到的資料來看，國內的常春光所應該也已經接近突破的邊緣了，但具體到了哪一步，康馳也不清楚。
他打算先試著了解一下情況，
如果條件允許，價格合適的話，他可能會直接向他們進行採購，
哪怕技術稍微不達標，採購過來自己再進行改良優化，也能節省大量的時間和精力。
畢竟一台光刻機裡面，有足足十幾二十萬的零部件，全靠大唐重工自己來做的話，那得搞到猴年馬月去。
而向他們採購，既不浪費他們的科研成果，還能利用上他們的生產力，
也算是共贏了。
所以康馳這次，並不排斥自己成為組裝、調試和改良的角色。
放著華國這麼完整的產業鏈不用，反倒自己去搓每個螺絲，不但浪費國內這麼好資源和基礎，更是閉門造車吃獨食的表現。
而能用本國的產業鏈，來完成一台光刻機的所有零件製造，全球有且只有一個國家才有可能做到，
那就是華國。
換成老M也不行。
他們也沒辦法只在本國，就找到光刻機全部零部件的供應商，得全球多國合作協同才行。
而巨大的資源協調成本，更是會大大加重整個研發項目的費用和時間，
這也是華國的很多產品，能做到成本遠低於國外廠商的主要原因之一。
總之，無論常春光所有沒有突破EUV光源的技術，康馳都可以嘗試著借用他的研發製造能力，來迅速獲得一套可行的光源系統。
現在光刻的光有了，
下一步就是把光，通過一個光學系統，收集並投影到塗上了光刻膠的矽片上面。
這個光學系統，也是整台光刻機中，造價成本占比最大的。
這部分康馳準備對大秦光學的鏡頭生產線，進行升級，然後把它給拆了，直接獲得光刻機鏡片和反射鏡製造，所需要的大部分設備零件。
這麼做的效率無疑會高很多，
而且升級後的生產線，估計連解析項目都沒有，
因為裡面的大部分技術，康馳在解析光刻機的時候，就已經得到了，他本人擁有非常大的解釋空間。
唯一的缺點就是，需要他在接下的項目中，進行一定的混淆視聽，把這些拆分開的組件，神不知鬼不覺地摻到整個項目里去。
嗯，
就是欺負嚴輝他們對光刻機沒啥研究，
到時候估計也是康馳讓他們幹什麼，他們就幹什麼，思考空間並不多。
至於光刻機最後的一個關鍵系統，則是承載矽片的雙工件台系統。
它的工作原理很簡單，就是在光刻中不斷的挪動矽片的曝光部位，但其中的技術含量其實非常大。
因為這個工作平台必須快、准、狠。
速度，決定了光刻機的效率，
移動太慢了，光刻機的產量就不行，
這就要求它，在高速移動後，還得迅速且精準地停下，
停留的位置誤差，還得在1nm以內，
但凡偏差大一點，整個晶圓就直接報廢了！
這啥概念？
大概就是一輛高速行駛的汽車，突然緊急剎停，然後停下位置誤差還不能超過1毫米。
不過這個難點，在今年5月份的時候，剛好被鉿工大給搞定了，
他們研發出來的真空高速超精雷射干涉儀，位移的解析度達到了驚人的5pm，位移誤差控制在了30pm！
要知道，1000pm才等於1nm！
0.03nm的位移誤差，簡直牛逼到不行！
康馳簡直懷疑，他們是不是和自己一樣開了掛……
講真，華國能人還是挺多的，
如果不靠系統，康馳自己雖然也有一定的把握可以攻克這種技術，但時間就不知道要多久了……
所以康馳一直也不斷地在提醒自己，雖然系統確實好用，但自己學習和理解的腳步同樣不能停下。
這不但是為了在解析技術的時候，減輕自己的痛苦，免得突然暴斃，更是為以後萬一出現精通點不夠，需要自研的情況出現時，不至於兩眼一抹黑啥也幹不了。
總之EUV光刻機的大部分技術難點，其實華國都已經攻克或即將攻克了，只不過具體哪些能夠復刻落地量產，還是個未知數。
為了得到答案，康馳特地打了個電話給呂首長。
當聽到康馳問光刻機的事情，呂首長頓時就打起了精神，連忙問道：「你準備搞光刻機研發？」
「嗯，有這個想法。」
「搞光刻機好啊！嗯……不過你不是忙著量產採油蟲嗎？哪來這麼多的時間精力研發光刻機？」
「抽空玩玩唄……」
「……」
隨後康馳又在呂首長的沉默中，諮詢了關於常春光所EUV光源系統，和鉿工大雙工件台系統研究情況。
「嗯……他們確實都有了一定的突破，但具體到了什麼技術節點，還有多久能實際落地，我也說不準……你可以找張院士問問，這方面他比較清楚。」
於是康馳掛了電話後，又撥通了張達遠的電話，
結果張達遠一聽康馳的問題，直接就說電話上講不清楚，讓他過去燕京面談。
康馳強烈懷疑，這老頭就是想把他騙過去，忽悠他搞那個啥穩態微聚束光源，
但為了爭取縮短光刻機研製周期的機會，康馳也不得不從了他……
反正過去後任他怎麼說，康馳就是不跟他干，
他還能把康馳給扣了不成？
……
經過了兩個多小時飛行，康馳在天黑前就抵達了燕京國際機場，
前來接機的是陳海的同事，三人匯合後，便直奔HEPS項目部。
經過層層安檢和報備，康馳終於項目部裡面，見到了帶著安全帽，穿得像工地工人的張達遠。
看到這個已經年近七十的老人，竟然還能精神抖擻地深居一線，親自參與實驗工程的建設，康馳也不禁感到有些佩服。
「張院士，好久不見了。」
剛見面，康馳便主動和他握了握手，讚嘆道：「您可真是寶刀未老啊。」
「那必須的。」張達遠得意地拉著康馳，「走走走，先帶伱參觀參觀。」
面對張達遠的熱情，康馳自然也不好拒絕，
何況他本人，其實對這裡也挺好奇的，於是便跟著張達遠，在這個正在建設中的高能同步輻射光源裡面，簡單地轉了一圈。
上一章差點被4，好在修改後放出來了。
估計如果寫的太細太貼近事實，非常容易被4……
穩妥起見，接下來在技術和節點，可能會簡單帶過，
然後稍微誇張點，反正牛逼就完事了。
希望大家不用去較真找茬，就當是我瞎幾把亂吹好了。
嗯，
事實上，我就是在吹牛逼，真的！
(本章完)